產(chǎn)品時(shí)間:2024-09-11
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廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
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離子濺射儀(磁控)/中西器材 型號:M363284
此款小型磁控離子濺射儀主要用于SEM制樣樣品鍍導(dǎo)電膜(如金膜)或材料鍍膜。采用磁控冷態(tài)濺射,基本不升溫,保護(hù)樣品。
主要特點(diǎn):
2 顯示操作面為30°斜面,考慮操作的便捷和視覺體驗(yàn),方便觀察操作;
2 真空泵連接管路為金屬波紋管;
2 微調(diào)閥調(diào)節(jié),帶有刻度標(biāo)識;
2 真空泵抽速快,適合實(shí)驗(yàn)室使用;
2 控制電路為控制板;
2 顯示控制操作部分,位于同側(cè),使用方便;
2 磁控冷態(tài)濺射,基本不升溫,保護(hù)樣品;
離子濺射儀(磁控)/中西器材 型號:M363284
技術(shù)參數(shù):
1.樣品室空間:直徑120mm×高110mm
2. Pt靶為標(biāo)配,靶材尺寸:φ50mm×0.1mm
3.真空控制電路設(shè)計(jì),實(shí)現(xiàn)真空度和濺射電流,互鎖,可調(diào)電流40mA;
4.侵入式磁控低溫離子源,可換靶材,環(huán)繞暗區(qū)護(hù)罩;
5.使用計(jì)|時(shí)控制器,可調(diào)設(shè)置范圍:1-500秒,連續(xù)可調(diào)
6.自動(dòng)真空泄氣功能,自動(dòng)排氣,可通過數(shù)字定時(shí)器進(jìn)行控制
7.進(jìn)口真空泵,抽速8.5m3/h,噪聲不大于48dB,可置于抗震臺上,全金屬集成耦合系統(tǒng)
8.微型真空氣閥:微量流量閥,精度±0.1Pa